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英文名称：Rutherford back scattering spectroscopy 定义：以兆电子伏特
级的高能氢元素离子通过针形电极(探针)以掠射方式射入试样，大部分离子由于
试样原子核的库仑作用产生卢瑟福散射，改变了运动方向而形成背散射。测量背
卢瑟福背散射光谱(RBS)是一种离子散射技术,用于薄膜成份分析。 RBS 在量
化而不需要参考标准方面是独一无二的。 在 RBS 测量中，高能量(MeV)He+离子
指向样品，这样给定角度下背向散射 He 离子产生的能量及分布情况被记录下来。
因为每种元素的背向散射截面已知， 就有可能从 RBS 谱内获得定量深度剖析
非破坏性成分分析 无标准定量 分析 整个晶圆分析（150, 200, 300 mm）以